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NEWS INFORMATION三維光學(xué)形貌儀在半導(dǎo)體檢測中的應(yīng)用
2024-10-20 三維光學(xué)形貌儀是一種高精度、非接觸式的表面測量儀器,能夠測量從粗糙到光滑、從堅硬到柔軟、從黏性到各種難于測量的表面,適用于金屬材料、非金屬材料、復(fù)合材料、薄膜、涂層、器件等各種材料的表面微觀結(jié)構(gòu)特征的3D成像。三維光學(xué)形貌儀在半導(dǎo)體檢測中的應(yīng)用非常廣泛,主要包括以下幾個方面:1、表面形貌分析:它可以對半導(dǎo)體材料的表面形貌進行精確測量和分析,包括表面的粗糙度、平整度、臺階高度等。這對于半導(dǎo)體器件的性能有著重要影響,因為表面的不平整會導(dǎo)致電子在器件中的傳輸受阻,從而影響器件的性能...Copyright © 2025北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司 All Rights Reserved 備案號:京ICP備19005501號-1
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